真空計是測量真空系統中氣體壓強的儀器,種類很多,這里介紹的復合真空計是常見的一種,復合真空計是由溫差電偶真空計與熱陰極電離真空計組合而成。下面給大家簡單介紹下各類各類真空計原理。

 一、溫差電偶真空計的原理，溫差電偶真空規管由玻璃制成,通過小管8和真空系統相接,如圖2所示,在規管內的兩根引線上裝有熱絲3,另外兩根引線上焊著一對溫差電偶4,溫差電偶的另一端與熱絲在A點焊接。由于在低壓下,氣體的熱傳導系數與壓強成正比,所以在通過熱絲的電流(90～150mA)一定的條件下,熱絲的溫度隨著規管內真空度的提高而升高,溫差電偶電動勢也就隨之而增大。因此,通過測量溫差電偶電動勢,就可確定出被測系統的真空度,溫差電偶真空計就是根據這個原理制成的。

 二、熱陰極電離真空計的原理:電離真空規管就是一只三極管,通過B管與真空系統相接,使用時,在燈絲電路中通以電流5mA,燈絲受熱后便發射電子,由于柵極為正電壓,使電子加速,中途與氣體分子相碰,氣體的密度越大,碰撞機會越大,產生的正離子也越多。另外,由于板極電壓為負,便吸引正離子在板極電路中形成板極電流Ip,氣體分子密度越大(即壓強越大),板極電流也越大,反之就小。所以,通過測量板極電流便可以確定氣體的壓強,熱陰極電離真空計就是根據這個原理制成的。

 三 、復合真空計的使用,復合真空計由上述兩種真空計組合而成,現在常用的型號有K型和FZH型,使用方法基本相同。現就WZK-1A型介紹如下。如圖4所示是K-1A型的板面圖,K1為電流總開關,開關K3、K4及電位器W5和電表CB2屬于溫差電偶真空計部分,其余均屬于熱陰極電離真空計部分,溫差電偶真空規管和電離真空規管已經焊接在真空系統上,測量時,各用一根電纜線與復合真空計相接,在使用前或停止使用時,應該使面板上的所有開關都處于關閉狀態.

  

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