真空規管,真空規管就是測量真空度的傳感器。真空規管測量出來的信號傳輸到真空計上經過放大處理就可以顯示出被測真空環境的真空度。圭革智能為大家科普真空規管小知識。
真空規管一般是裝在真空鍍膜室的位置,是指電離規管,玻璃管端部用老虎鉗夾破一點,插進真空室密封好,度必須大氣狀態完成。(還有電阻規它是測粗真空的,這種沒有規管,就一個傳感器)用來監測真空度的,電離問規開啟一般是有要求的,當壓強到3PA以下答才開真空,可設置壓強參數,到了會自動開,過早開會氧化電離規,導致燒壞。
主要應用于真空環境的真空度測量領域,如真空鍍膜,太陽能集熱管制作,真空冶煉等。
規管的分類
1、熱偶規
目前國內的熱偶規主要有51系列,53B/54D等。主要應用于低真空測量。
2、皮拉尼系列(電阻規管)
目前國內的電阻規型號主要是52T系列。主要以用于粗低真空測量。
PG-500 配合表頭使用
PG-600 通訊型 數字信號直接接入PC機
PG-700開關型 可以直接設定控制點,進行控制
3、熱陰極規管
主要型號有ZJ-2系列,ZJ-10系列,ZJ-27系列,B-A規等。
該型規管主要應用于高真空測量。
4、冷陰極規管(冷規)
如磁控規等
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